光學NanoGauge C12562-04
價 格：詢價
產 地：更新時間：2020-12-15 10:43
品 牌：其他型 號：C12562-04
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產品介紹
光學NanoGauge C12562-04
詳細參數
| 型號 | C12562-04 |
| 可測膜厚范圍（玻璃） | 500 nm to 300 μm*1 |
| 測量可重復性（玻璃） | 0.02 nm*2 *3 |
| 測量準確性（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | Halogen light source |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距離 | 10 mm*3 |
| 可測層數 | Max. 10 layers |
| 分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
| 測量時間 | 3 ms/point*5 |
| 光纖連接頭 | FC |
| 外部控制功能 | RS-232C, Ethernet |
| 電源 | AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 80 VA |
*1 轉換時玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標準偏差（公差）
*3 取決于光學系統或物鏡放大倍數
*4 測量保證范圍同VLSI標準測量保證文件***致
*5 ***短曝光時間
產品特性
● 測量范圍從薄膜厚度到總厚度
● 縮短循環時間（***大100 Hz）
● 外部觸發器增強（適用于高速測量）
● 系統中新增簡化測量法
● 可進行表面分析
● 非恒定膜層的精確測量
● 分析光學常數（n, k）
● 可外部控制
外形尺寸（單位：mm）
滬公網安備31011502016460號
