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掃描透射電子顯微鏡（STEM）
瑞士lynceetec數字全息顯微鏡DHM
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-01-18 15:14
品 牌：型 號：R2200
狀 態：正常點擊量：2345
400-006-7520
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DHM是研究MEMS的理想工具，它可以：3D形貌：面內和離面運動樣本的動態特性快速圖像采集頻閃觀測模式縱向皮米***測量精度，視頻速率30幀/秒下實現實時三維動態成像
DHM對于離面（Out-of-plane）運動的測量達到了MEMS多普勒激光測振儀（也被稱為MEMS分析儀）的精度，而對于面內（In-plane）運動的測量精度則遠遠超過目前市場上其他MEMS分析儀的測量精度，達到了1納米。
| 反射式數字全息顯微鏡DHM®系列(DHM-R1000, DHM-R2100 、 DHM-R2200) |
| 動態可測垂直高度(無須掃描情況下) | 連續結構： 200 μm
臺階：15 μm |
| 水平分辨率 | 由所選物鏡決定， 333 nm（@100×） |
| 垂直精度 | 小至 0.15 nm |
| 垂直分辨率
(定義為兩倍于精度) | 小至 0.30 nm |
| 精度
(定義為對單***像素點做30次測量后取時域標準差) | 小至 0.01 nm |
| 垂直校準 | 由干涉濾波決定，±0.1 nm |
| 垂直掃描下的可測垂直高度 | 由電動樣品臺決定，達 10 mm |
| 視場 | 由所選物鏡決定，從66μm×66μm 到5 mm x 5 mm |
| 圖像抓取速率 | 標準：155fps (1024 x 1024). (可選 1000 fps). |
| 圖像抓取時間 | 標準：60 μs (可選高速只需 10 μs) |
| 工作距 | 由所選物鏡決定，從0.3 mm 到 18 mm |
| 數字自動聚焦范圍 | 由所選物鏡決定， 可達景深的 50倍 |
| 視場 | 1024 x 1024 像素點 |
| 工作距 | < 1% |
| 采樣空間 | 1024 x 1024 像素點 |
| 可測樣品反射率
(僅對反射式 DHM ) | < 1%
更多資料：[email protected]
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| 時間分辨動態輪廓 | 全息MEMS測振分析 |
高達1000幀/秒的動態形貌時序圖 MEMS振動可測頻率高達25MHz
Ø 靜態&超快動態形貌分析（無需掃描，動態可測高度：臺階15um，連續結構200um） Ø 面內面外振幅分析(面內振幅測量精度1nm，面外振幅測量 精度5pm)
Ø 表征樣品動態響應 Ø 頻率共振分析和響應分析
Ø 氣體、液體、真空或透過玻璃等多種環境下測量 Ø 復雜運動表征，振動模態表征，樣品動態三維形貌
| 4D反射測量 | 高速光學三維質量檢測 |
表征透明/半透明形貌 在線檢測速度可達15厘米/秒
Ø 測量厚度從幾納米到幾十微米 Ø 振動不敏感
Ø 可測三層透明薄膜 Ø 無需校準
Ø 測量薄膜折射率 Ø 高速測量
滬公網安備31011502016460號
