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真空紫外橢偏儀

價  格：詢價

產  地：更新時間：2021-01-18 16:44

品  牌：型  號：UVISEL 2 VUV

狀  態：正常點擊量：1352

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上海非利加實業有限公司

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配送方式： 上海自提或三方快遞

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    專為VUV 測量設計，整個系統處于真空狀態，無氧氣吸收。具備高度準確性；的超快測量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮氣消耗量少。

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產品特點

  • 50KHz 高頻PEM 相位調制技術

  • 45 秒內完成充氮氣

  • 2 分鐘內完成樣品室抽真空

  • 8 分鐘內完成光譜全譜范圍內測量

  • 兩種工作模式：氮氣清洗結合抽

  • 真空、連續氮氣清洗

  • 光譜范圍：147nm~850nm；147nm~2100nm



重點應用領域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有機材料、高分子材料

  • 高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂層

  • 半導體和介電材料電子躍遷

  • MgF2、CaF2、LaF3


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產品參數


產品介紹



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