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納米***三維測量儀(3D Nanofinger)俗稱納米三坐標，是***種實用的納米精度坐標和形貌綜合測量設備。由臺架、控制系統、探頭、針尖組成. 可測量樣品外形尺寸，表面輪廓、粗糙度等，并可與超精密微加工、微組裝系統組合，進行在線檢測、質量控制等。系統可以根據樣品設定測量路徑，測量范圍達到厘米***甚至更大。現已廣泛應用于超精密機械加工、MEMS器件、半導體微電子加工、光學、分子生物學和精密工程。

工作原理：

· Nanofinger傳感器是***個小的MEMS器件，用來監測針尖和樣品之間的距離。這個距離小于10nm時，傳感器檢測到針尖和樣品之間的范德華力。此過程針尖跟樣品沒有接觸，即沒有任何損傷。

· Nanofinger的傳感器由***個特殊的，帶寬為幾kHz的高速電子控制系統驅動，閉環控制朝向樣品運動，增量為1nm直至達到理想的信號值（如，放大倍數為75%）。這時，位置信息以坐標數據信息存儲下來。傳感器繼續運動，到達下***位置，任何時候，都是1nm增量的閉環控制。同時，在X.Y和Z方向都可以實現厘米的運動行程。

· 所有運動方向都實現1nm運動分辨率。線掃描后非常容易地獲得三維圖像。

應用靈活：

· 3D-Nanofinger可以作為***個模塊，應用到其他系統中。

· 可以構建成***個獨立的納米***三維測量儀。

· 可以與Klocke公司的機械臂組合，安裝在SEM/FIB系統中，進行三維測量。“實時的圖像位置”模塊引導Nanofinger輕松到達鼠標點擊的SEM圖像位置。

設備主要參數： 

· 可選行程: 

X = 20 or 50 mm2 

Y = 20 or 50 mm2 

Z = 10 or 20 mm2 

采用花崗巖基底，XY方向行程擴展為： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 

· 測量特性： 

運動分辨率： 1 nm

針尖分辨率： 0.5 nm

水平與豎直方向均配有操縱傳感器

線形輪廓測量

樣品內部與外部輪廓測量

坐標測量功能

· 測量用探針: 

針尖型金屬絲, 尖端半徑 < 100 nm

鉤型金屬絲, 尖端半徑< 100 nm

圓形針尖, 直徑 0.12-0.3 mm

金剛石針尖, 如用于表面壓痕

· 軟件: 

針尖自動校準與逼近

2D 和 3D 圖形功能

工序設置，實現復雜動作自動控制（選項）

應用圖例：

· 輪廓測量 

二維和三維輪廓和表面精糙度參數

TFT LCD顯示行業的金字塔結構

· 外形測量 

沿內部及外部形狀

1.4 mm直徑的內螺紋

· 尺寸測量 

確定物體的方位和尺寸

鉆床和磨床上使用的刀具刃部的三維圖像