ALD實時監測儀
價 格：詢價
產 地：更新時間：2021-01-18 19:08
品 牌：型 號：RTM
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ALD實時監測儀RTM
SENTECH ALD實時監測儀是***種新型的光學診斷工具，是心靈超高分辨率的單***ALD循環。在不破壞真空的條件下分析薄膜特性(生長速率，厚度，折射率)，在短時間內開發新工藝、實時研究ALD循環中的反應機理是SENTECH ALD實時監測儀的主要應用。
ALD實時監測儀的優勢
工藝開發與優化
使用單***ALD循環可快速和簡易地開發和優化ALD工藝。ALD實時監測儀顯示了高達40ms分辨率的吸附和解吸過程。顯著節省了研發時間，襯底，前驅體和氣體。
節省前驅體
通過ALD實時監測儀，ALD工藝變得更加有效。節省了前驅體和工藝時間。
前驅體控制
當前驅體供應快要用盡時，ALD實時監測儀會立即檢測到的每個周期的增長變化。
SENTECH ALD實時監測儀是***種新型的光學診斷工具，是心靈超高分辨率的單***ALD循環。在不破壞真空的條件下分析薄膜特性(生長速率，厚度，折射率)，在短時間內開發新工藝、實時研究ALD循環中的反應機理是SENTECH ALD實時監測儀的主要應用。
創新的ALD實時監測儀是特別為快速和有效的工藝開發而設計，可優化SENTECH原子層沉積設備。該軟件使SENTECH ALD系統和ALD實時監測儀易于操作。ALD實時監測儀完全集成到SENTECH ALD系統軟件中，確保操作簡單。
滬公網安備31011502016460號
