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PICOSUN P-200S Pro ALD 生產(chǎn)型原子層沉積機 

技術(shù)參數(shù)

襯底尺寸和類型：

  。50 – 200 mm /單片
  。156 mm x 156 mm 太陽能硅片
  。150 mm x 150 mm 顯示面板
 

工藝溫度： 50 - 500 °C , 可選更高溫度

基片傳送選件 ：

  。氣動升降（手動裝載）
  。半自動裝載，用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實現(xiàn)
  。25片晶圓盒對盒式全自動裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™200集群系統(tǒng)實現(xiàn)
 

標(biāo)準(zhǔn)： SEMI S2 認(rèn)證（認(rèn)證中）
 

前驅(qū)體：

  。 液態(tài), 固態(tài), 氣態(tài), 臭氧源, 等離子體（*多4路氣體）：
  。前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
  。6根獨立源管線，*多加載12個前驅(qū)體源（加上Plasma管路，共7根獨立源管線）

重量 ：790 kg

尺寸 ：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

可選件 ：集群工具, PICOFLOW™ 擴散增強器, 集成橢偏儀, QCM, RGA, N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設(shè)計，與工廠軟件連接服務(wù)。

驗收標(biāo)準(zhǔn) ：。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝，
        。其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用具體驗收標(biāo)準(zhǔn)如：
         - 不均勻性
         - 顆粒物含量
         - 重金屬污染
         - 電學(xué)性能

***個PICOPLATFORM™ 200真空集群系統(tǒng)由兩臺PICOSUN™ P-200S ALD設(shè)備組成，帶等離子體源PICOPLASMA™。