太陽(yáng)能電池測(cè)試探針臺(tái)參數(shù)規(guī)格
規(guī)格如下：
chuck（卡盤）
*尺寸：4英寸，圓形（方形可選）
*材質(zhì)：不繡鋼（可升***鍍金）
*旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1
*X-Y移動(dòng)行程：4" x4"
*移動(dòng)精度：10um（可升***為1um精度）
*平坦度：10um
*吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4"
太陽(yáng)能電池測(cè)試探針臺(tái)配件
1、CB-40-T
2.0um探針座
*X-Y-Z移動(dòng)行程：12 x 12 x 12mm
*移動(dòng)精度：2 微米
*移動(dòng)方式:線性移動(dòng)/無(wú)后座力移動(dòng)
*絲杠精度：80 Thread / Inch
*I/O Pad 點(diǎn)測(cè)
*固定方式：磁力翻轉(zhuǎn)，帶磁性開(kāi)關(guān)
*尺寸：52寬 x 96長(zhǎng) x 76mm高
*重量：350 克
2、CB-GZ-100
管狀?yuàn)A具
固定方式
通過(guò)內(nèi)銅管固定探針
外銅管屏蔽雜訊干擾，內(nèi)外銅管之間是絕緣層。可以選擇后端連接普通線纜同軸線纜或者三軸線纜。
漏電精度
mA***：
接普通PVC線纜+香蕉頭
10pA***：
接同軸線纜+BNC接頭
100fA***：
接三軸線纜+Trixial接頭（需配合屏蔽箱）
3、美***GGB探針
型號(hào) | 針尖直徑 | 針桿直徑 | 針長(zhǎng) | 材質(zhì) | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內(nèi)部線路點(diǎn)針 
|
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質(zhì) | 5 |
0.7 微米針須焊接于鎳質(zhì)針桿上 | |
硬針類:適用于集成電路電極點(diǎn)針 
|
ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質(zhì) | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質(zhì) | 10 |
4、 名稱：屏蔽箱/黑箱
?屏蔽光及EMI各類干擾信號(hào)，使量測(cè)精度更高
?尺寸可以定制
整體精度：1UM
5、防震桌
特點(diǎn)：隔振支撐采用超薄復(fù)合材料氣囊、自定心準(zhǔn)無(wú)摩擦球頭擺桿和帶附加擴(kuò)散口的多小孔準(zhǔn)層流阻尼技術(shù)，隔振性能良好。自動(dòng)水平，自動(dòng)充氣，全部氣動(dòng)執(zhí)行元件采用德***FEST0產(chǎn)品，靜音空氣壓縮機(jī)氣源、噪聲低。
應(yīng)用范圍：適用于對(duì)振動(dòng)要求高的場(chǎng)所。 如光電測(cè)量、全息成像、光柵制作等。輕松 調(diào)節(jié),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠。
技術(shù)參數(shù)：
臺(tái)面為三層夾心蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)，采用ICR17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼
平臺(tái)表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復(fù)定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
具體尺寸可根據(jù)客戶需求定制
6、真空泵
日東工器VP0125
規(guī)格：
l 電壓：AC220V
l 流量：7L/min
l 真空度：-60KPa
l 質(zhì)量：0.7Kg
功能
l 提供真空動(dòng)力源。
l 配合 CHUCK上的真空吸附孔來(lái)固定樣品。
l 配合真空吸附型探針座，固定探針座。
特點(diǎn)
● 無(wú)油靜音，特別適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室使用。
● 7升/分鐘，可24小時(shí)無(wú)間斷運(yùn)轉(zhuǎn)。
探針臺(tái)的使用方法
1、 將樣品載入真空卡盤，開(kāi)啟真空閥門控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。
5、 待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。
6、 確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。
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