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Brooks GF100 / GF120 / GF125質(zhì)量流量控制器設計用于半導體，MOCVD和其他氣體流量控制 需要高純度全金屬流路的應用。 Brooks GF100系列質(zhì)量流量控制器和 儀表具有出色的性能，可靠性和靈活性。

選擇GF100系列功能集可直接替換和升 大多數(shù)品牌的金屬密封質(zhì)量流量 控制器，包括前Celerity，UNIT，Tylan和Mykrolis品牌。 具有廣泛的選項和功能 GF100系列可為用戶提供簡化和標準化的途徑，從而大大減少了備件，庫存， 和支持費用。

GF125是 二代，多變量，壓力瞬變不敏感質(zhì)量流量控制器。 這個產(chǎn)品建立 憑借布魯克斯在壓力瞬變不敏感（PTI）質(zhì)量流量控制器技術中的領導地位，將過程 小化 壓力和溫度波動引起的氣體流量變化。 GF125使客戶能夠簡化和減小尺寸 消除了對使用點壓力調(diào)節(jié)器，壓力傳感器和相關設備的需求，從而降低了燃氣面板的成本 硬件。

GF100系列的應用包括：

• 半導體蝕刻工具
• 薄膜化學氣相沉積系統(tǒng)（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
• 物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)
• 外延工藝系統(tǒng)
  
  美***布魯克儀器公司，成立于1946年，專注于創(chuàng)新。他們擁有150多個有效專利，包括在基本流體測量和控制技術方面的多重進步。布魯克儀器為流量測量和控制應用提供準確 可靠的產(chǎn)品。BrooksInstrument是《財富》 200強公司ITW（伊利諾伊州工具廠）的子公司。ITW是專業(yè)工業(yè)設備，消耗品和相關服務業(yè)務的 多元化制造商之 ，美***布魯克斯公司已經(jīng) 繁榮了100年，因為ITW的每 項業(yè)務都具有獨立的企業(yè)***精神和創(chuàng)新自由。