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芬蘭FocalSpec的在線粗糙度缺陷掃描儀又叫線共焦掃描儀，主要是利用光譜儀將發(fā)光二極管發(fā)出的光分散成不同波長不同高度的光，這些光聚焦在同一聚焦面并照射到樣品表面，通過分光儀分析樣品表面所反射的光。根據反射光波長變化，判斷樣品表面信息。