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Crestec

Crestec: 日本Crestec Corporation 日本CRESTEC公司為21世紀先進納米科技提供尖端的電子束納米光刻（EBL）系統，或稱電子束直寫（EBD）、電子束爆光系統。型號包括CABL-9000C系列、CABL-9000TF系列、8000TF系列、CABL-4200LB及CABL-4200LB。其中CABL-9000C系列最小線寬可達8nm，最小束斑直徑2nm，套刻精度 20nm(mean+2σ)，拼接精度 20nm(mean+2σ)。 At the Crestec, we are commited t…… 詳情>

產品分類

電子束刻蝕系統

“Crestec”品牌產品

電子束光刻系統CABL-9000系列

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